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辽宁氢氟酸的溶液处理碳化硅表面新方法

来源:http://liaoning.jinshafhj.com/news500993.html发布时间:2016/1/4 0:00:00

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  经氢氟酸作用氮化硅表面后,可将氮化硅表面的非极性基团刻蚀掉,例如将氧化的含氮基团脱氧变成极性基团,同时暴露出更多的Si-N键,这种Si-N键是一种极性较高的键。这些含氮的基团(-NH2,-NH)和有较高极性的Si-N键都呈现亲水性,减小了薄膜与溶液的接触角,增加了氮化硅表面的亲水性。采用本发明方法可以简单地增加表面的亲水性,从而在后续氮化硅表面获得全面积的均匀喷涂或者旋涂薄膜。
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